Iye ibi-afẹde ti ọriniinitutu ojulumo ninu yara semikondokito (FAB) mimọ

Iwọn ibi-afẹde ti ọriniinitutu ojulumo ninu yara mimọ kan (FAB) jẹ isunmọ 30 si 50%, gbigba aaye dín ti aṣiṣe ti ± 1%, gẹgẹbi ni agbegbe lithography - tabi paapaa kere si ni sisẹ ultraviolet (DUV) agbegbe - nigba ti ibomiiran o le jẹ isinmi si ± 5%.
Nitori ọriniinitutu ojulumo ni ọpọlọpọ awọn ifosiwewe ti o le dinku iṣẹ gbogbogbo ti awọn yara mimọ, pẹlu:
1. Idagba ti kokoro arun;
2. Iwọn itunu otutu yara fun awọn oṣiṣẹ;
3. Electrostatic idiyele han;
4. Ipata irin;
5. Omi oru condensation;
6. Ibajẹ ti lithography;
7. Gbigba omi.

Kokoro arun ati awọn miiran ti ibi contaminants (molds, virus, elu, mites) le ṣe rere ni awọn agbegbe pẹlu ọriniinitutu ojulumo ti diẹ ẹ sii ju 60%. Diẹ ninu awọn agbegbe kokoro arun le dagba ni ọriniinitutu ibatan ti o ju 30%. Ile-iṣẹ gbagbọ pe ọriniinitutu yẹ ki o ṣakoso ni iwọn 40% si 60%, eyiti o le dinku ipa ti awọn kokoro arun ati awọn akoran atẹgun.

Ọriniinitutu ibatan ni iwọn 40% si 60% tun jẹ iwọn iwọntunwọnsi fun itunu eniyan. Ọriniinitutu pupọ le jẹ ki eniyan ni rilara, lakoko ti ọriniinitutu ti o wa ni isalẹ 30% le jẹ ki eniyan rilara gbigbẹ, awọ ti o ya, aibalẹ atẹgun ati aibanujẹ ẹdun.

Ọriniinitutu giga gangan dinku ikojọpọ ti awọn idiyele elekitirotiki lori oju yara mimọ - abajade ti o fẹ. Ọriniinitutu kekere jẹ apẹrẹ fun ikojọpọ idiyele ati orisun ti o le bajẹ ti itusilẹ elekitirosita. Nigbati ọriniinitutu ojulumo ba kọja 50%, awọn idiyele eletiriki bẹrẹ lati tuka ni iyara, ṣugbọn nigbati ọriniinitutu ibatan ba kere ju 30%, wọn le duro fun igba pipẹ lori insulator tabi ilẹ ti ko ni ilẹ.

Ọriniinitutu ibatan laarin 35% ati 40% le ṣee lo bi adehun itelorun, ati awọn yara mimọ semikondokito ni gbogbogbo lo awọn idari afikun lati ṣe idinwo ikojọpọ awọn idiyele elekitirosita.

Iyara ti ọpọlọpọ awọn aati kemikali, pẹlu awọn ilana ipata, yoo pọ si pẹlu ilosoke ọriniinitutu ibatan. Gbogbo awọn oju ti o han si afẹfẹ ni ayika yara mimọ yara yara.