Awọn yara mimọ ti iṣelọpọ ẹrọ itanna jẹ lilo akọkọ fun iṣelọpọ ti semikondokito, awọn ifihan LCD, awọn igbimọ Circuit ti a tẹjade, ati awọn paati itanna miiran.Awọn ohun elo wọnyi nigbagbogbo ni awọn agbegbe iṣelọpọ mimọ, awọn agbegbe mimọ iranlọwọ, awọn agbegbe iṣakoso ati awọn agbegbe ohun elo.Ipele mimọ ti awọn yara mimọ itanna taara ni ipa lori didara awọn ọja itanna.Lati ṣetọju ipele kan pato ti mimọ afẹfẹ ati rii daju iwọn otutu inu ile igbagbogbo ati ọriniinitutu ibatan ni agbegbe iṣakoso, awọn eto ipese afẹfẹ ati awọn ẹya àlẹmọ àìpẹ (FFU) ni a lo,